工件架旋转系统以及真空镀膜设备
基本信息
| 申请号 | CN202120527501.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214496466U | 公开（公告）日 | 2021-10-26 |
| 申请公布号 | CN214496466U | 申请公布日 | 2021-10-26 |
| 分类号 | C23C14/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李刘合;毛迎东 | 申请（专利权）人 | 北航歌尔（潍坊）智能机器人有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 | 代理人 | 梁馨怡 |
| 地址 | 261000山东省潍坊市潍坊高新区新城街道玉清社区玉清东街以北中心次干道以西高新大厦1006房间-02号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种工件架旋转系统以及真空镀膜设备，工件架旋转系统包括公转盘、自转盘和驱动系统，驱动系统包括驱动装置和传动机构，传动机构包括驱动齿轮、齿轮盘和传动齿轮，驱动齿轮与驱动装置传动连接，且驱动齿轮与公转盘可离合地连接，齿轮盘固定设置且与驱动齿轮在轴向上呈相对设置，传动齿轮与自转轴传动连接，传动齿轮设于驱动齿轮的转轴的一侧，且传动齿轮的转轴与驱动齿轮的转轴相并行设置，且传动齿轮沿着其轴向可活动设置，以使得传动齿轮具有与驱动齿轮啮合的第一位置、与所述驱动齿轮和所述齿轮盘分离的第二位置、以及与所述齿轮盘啮合的第三位置，以使得自转盘能够自转、公转以及同时自转和公转，以解决现有技术的缺陷。 |
