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动态随机存取存储器及其制作方法

基本信息

申请号 CN202110720222.0 申请日 -
公开（公告）号 CN113506775A 公开（公告）日 2021-10-15
申请公布号 CN113506775A 申请公布日 2021-10-15
分类号 H01L21/8242（2006.01）I;H01L27/108（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 朱宝;陈琳;孙清清;尹睿;张卫 申请（专利权）人 上海集成电路制造创新中心有限公司
代理机构 上海恒锐佳知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 黄海霞
地址 201203上海市浦东新区碧波路690号401-23室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种动态随机存取存储器，包括衬底、晶体管、介质叠层、电容器和导电柱，所述晶体管设置于所述衬底的上表面，所述介质叠层设置于所述衬底的上表面，且部分所述介质叠层包覆所述晶体管，所述导电柱设有若干个，且所述导电柱分别与所述晶体管和所述电容器电接触，所述电容器设置于所述介质叠层，且所述电容器的底部与所述衬底的上表面的最小轴向距离大于0，使得降低了半导体衬底对电容器的电学干扰，从而可以增大电容器的品质因子，减少漏电流，避免了动态随机存取存储器占据较大空间，保证了动态随机存取存储器具有较大的存储密度。本发明提供了所述动态随机存取存储器的制作方法。