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一种蓝宝石炉籽晶杆升降机构

基本信息

申请号	CN201320007573.8	申请日	-
公开（公告）号	CN203021677U	公开（公告）日	2013-06-26
申请公布号	CN203021677U	申请公布日	2013-06-26
分类号	C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	张伟	申请（专利权）人	苏州晶科新能源装备科技有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	215211 江苏省苏州市吴江市汾湖经济开发区汾湖大道558号苏州晶科大厦
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及泡生法蓝宝石单晶炉技术领域，具体的说是一种蓝宝石炉籽晶杆升降机构，伺服电机与滚珠丝杆副连接，滚珠丝杆副通过滚珠丝杆副螺母固定在从动齿轮上，从动齿轮底部设置有滑枕，从动齿轮与主动齿轮连接，主动齿轮中间设置有光杆，光杆底部连接有直角传动器，直角传动器上安装有手轮，自动传动系统由伺服电机、行星减速器、连轴套、滚珠丝杆副副、滑枕组成，滚珠丝杆副螺母通过轴承固定在滑枕上，伺服电机通过行星减速器、连轴套带动滚珠丝杆副旋转运行，实现滑枕的上下自动运行，动传动系统由手轮、直角传动器、光杆与键条组成，由于自动传动系统中的滚珠丝杆副转速速度非常低，所以在引晶操作过程中不需要停止自动传动系统即可进行手动传动系统操作，非常方便。