一种加热装置及具有其的集成电路分选机

基本信息

申请号 CN202122870791.1 申请日 -
公开(公告)号 CN216491097U 公开(公告)日 2022-05-10
申请公布号 CN216491097U 申请公布日 2022-05-10
分类号 H05B3/02(2006.01)I;H05B3/22(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I;G01R31/28(2006.01)I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 莫右;曾昭孔;朱军;张岩 申请(专利权)人 苏州通富超威半导体有限公司
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人 -
地址 215000江苏省苏州市工业园区苏桐路88号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种一种加热装置及具有其的集成电路分选机。该加热装置包括安装座及设于所述安装座上表面上的陶瓷发热片,所述加热装置还包括石墨片,所述石墨片通过粘合层固定于所述陶瓷发热片上。本实用新型的加热装置在高温或测试时间较长的情况下也具有较好的导热性能,稳定性好且减少了装置维护的工作量。