一种微小芯片节距调整装置
基本信息
申请号 | CN202110407634.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113113335A | 公开(公告)日 | 2021-07-13 |
申请公布号 | CN113113335A | 申请公布日 | 2021-07-13 |
分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L25/075(2006.01)I;H01L27/15(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 付桂花;马洪毅 | 申请(专利权)人 | 山西高科华兴电子科技有限公司 |
代理机构 | 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 崔雪花;冷锦超 |
地址 | 046000山西省长治市城区北董新街65号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提出一种微小芯片节距调整装置,属于微小电子元器件技术领域;具体包括固定框架,固定框架内设置有可左右移动的节距调整机构,节距调整机构包括多个平行的节距执行板,相邻两个节距执行板之间的间距在推动机构下可等距离拉长和收缩,固定框架内设置有限位机构,限位机构用于节距执行板在拉长或收缩后的定位,节距执行板用于插入吸盘上微小芯片的行或列内进行节距调整;本发明通过节距调整装置可简单快速的实现微小芯片节距调整,与多种转移装置相配合使用,提高了转移的效率和精度,无需复杂的设备即可完成,大量节约成本。 |
