用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室
基本信息
| 申请号 | CN201010163297.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101812676B | 公开（公告）日 | 2012-07-25 |
| 申请公布号 | CN101812676B | 申请公布日 | 2012-07-25 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张浩 | 申请（专利权）人 | 江苏综艺光伏有限公司 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 张惠忠 |
| 地址 | 226300 江苏省通州市兴东镇综艺数码城 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，包括腔壁、气体注射器、承受器以及支撑架，气体注射器设置在腔壁的上端，承受器设置在气体注射器的下端，其特征在于：还包括一支撑栓底板，该支撑栓底板设置在承受器的下端，在所述的支撑栓底板上设置有至少三个支撑栓，该至少三个支撑栓用于支撑一平面构件，在所述的承受器上设置有支撑栓孔，所述的承受器套在所述的支撑栓上。本发明在工艺腔室内增加了支撑架，并采用支撑架上的支撑栓对加热的玻璃进行支撑，支撑栓采用点接触，且比较分散，同时，支撑点也不局限于边缘，因而玻璃放在支撑栓上后，热传递慢且传递量小，玻璃表面温差小，因此，镀膜时，玻璃的镀层较为均匀，色差小。 |
