用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室
基本信息
申请号 | CN201010163297.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN101812676B | 公开(公告)日 | 2012-07-25 |
申请公布号 | CN101812676B | 申请公布日 | 2012-07-25 |
分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 张浩 | 申请(专利权)人 | 江苏综艺光伏有限公司 |
代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 张惠忠 |
地址 | 226300 江苏省通州市兴东镇综艺数码城 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室,包括腔壁、气体注射器、承受器以及支撑架,气体注射器设置在腔壁的上端,承受器设置在气体注射器的下端,其特征在于:还包括一支撑栓底板,该支撑栓底板设置在承受器的下端,在所述的支撑栓底板上设置有至少三个支撑栓,该至少三个支撑栓用于支撑一平面构件,在所述的承受器上设置有支撑栓孔,所述的承受器套在所述的支撑栓上。本发明在工艺腔室内增加了支撑架,并采用支撑架上的支撑栓对加热的玻璃进行支撑,支撑栓采用点接触,且比较分散,同时,支撑点也不局限于边缘,因而玻璃放在支撑栓上后,热传递慢且传递量小,玻璃表面温差小,因此,镀膜时,玻璃的镀层较为均匀,色差小。 |
