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半导体太阳能镀膜工艺腔室

基本信息

申请号 CN201020179750.7 申请日 -
公开（公告）号 CN201868459U 公开（公告）日 2011-06-15
申请公布号 CN201868459U 申请公布日 2011-06-15
分类号 H01L31/18(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 张浩;昝圣达;朱峰林 申请（专利权）人 江苏综艺光伏有限公司
代理机构 南京经纬专利商标代理有限公司 代理人 江苏综艺光伏有限公司
地址 226300 江苏省通州市兴东镇综艺数码城
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种半导体太阳能镀膜工艺腔室，包括腔壁、气体注射器、负载架以及承受器，所述的气体注射器设置在腔壁的上端，所述的承受器设置在气体注射器的下端，其特征在于：所述的负载架设置在所述的承受器上，在所述的腔壁上设置有气体缓冲层。与现有技术相比，本实用新型半导体太阳能镀膜工艺腔室，负载架不是设置在腔壁上，而是设置在承受器上，用来支撑玻璃，在腔壁上再设独立的气体缓冲层单独来阻止工艺气体。采用本实用新型的工艺腔室，玻璃的负载架设置在承受器上，在对玻璃进行支撑后，玻璃的边缘不会快速的降温，经承受器加热后，玻璃温度均匀，镀膜效果好，色差小。