半导体太阳能镀膜工艺腔室

基本信息

申请号 CN201020179750.7 申请日 -
公开(公告)号 CN201868459U 公开(公告)日 2011-06-15
申请公布号 CN201868459U 申请公布日 2011-06-15
分类号 H01L31/18(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 张浩;昝圣达;朱峰林 申请(专利权)人 江苏综艺光伏有限公司
代理机构 南京经纬专利商标代理有限公司 代理人 江苏综艺光伏有限公司
地址 226300 江苏省通州市兴东镇综艺数码城
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种半导体太阳能镀膜工艺腔室,包括腔壁、气体注射器、负载架以及承受器,所述的气体注射器设置在腔壁的上端,所述的承受器设置在气体注射器的下端,其特征在于:所述的负载架设置在所述的承受器上,在所述的腔壁上设置有气体缓冲层。与现有技术相比,本实用新型半导体太阳能镀膜工艺腔室,负载架不是设置在腔壁上,而是设置在承受器上,用来支撑玻璃,在腔壁上再设独立的气体缓冲层单独来阻止工艺气体。采用本实用新型的工艺腔室,玻璃的负载架设置在承受器上,在对玻璃进行支撑后,玻璃的边缘不会快速的降温,经承受器加热后,玻璃温度均匀,镀膜效果好,色差小。