一种带复合绝缘层的金属基薄膜传感器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201510104153.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104726862B | 公开（公告）日 | 2018-06-19 |
| 申请公布号 | CN104726862B | 申请公布日 | 2018-06-19 |
| 分类号 | C23C28/00;C23C14/35 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 赵晓辉;王亦然;杨柯;蒋书文;蒋洪川;熊杰;张万里 | 申请（专利权）人 | 东莞电子科技大学电子信息工程研究院 |
| 代理机构 | 电子科技大学专利中心 | 代理人 | 李明光 |
| 地址 | 611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出了一种带复合绝缘层的金属基薄膜传感器及其制备方法，属于薄膜传感器的设计及制备技术领域。所述带复合绝缘层的金属基薄膜传感器从下往上依次为合金基板、NiCrAlY合金过渡层、Al2O3热生长层、非晶YAlO过渡层、Al2O3绝缘层、薄膜传感器功能层、Al2O3保护层，其中，非晶YAlO过渡层为氧化钇和氧化铝组成的非晶YAlO薄膜，氧化钇与氧化铝的摩尔比为1：(1～20)。本发明的非晶YAlO过渡层能改善薄膜传感器绝缘层的附着力和绝缘性能，降低器件的失效几率，为薄膜传感器在高温恶劣的环境中工作提供了更高的可靠性。 |
