烧结材料的烧结封装装置
基本信息
申请号 | CN202011242455.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112331570A | 公开(公告)日 | 2021-02-05 |
申请公布号 | CN112331570A | 申请公布日 | 2021-02-05 |
分类号 | H01L21/56(2006.01)I; | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 谷体建;樊嘉杰;陈威;祁高进;孙成忠;陈晔 | 申请(专利权)人 | 常州市武进区半导体照明应用技术研究院 |
代理机构 | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 刘松 |
地址 | 213164江苏省常州市武进区常州科教城国际创新基地创研港1号楼1-B701 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种烧结材料的烧结封装装置,包括:气泵,气泵用于产生气体;压力生成模块,压力生成模块与气泵相连,压力生成模块用于接收气体以生成第一压力;升压模块,升压模块与压力生成模块相连,升压模块用于对第一压力进行升压处理,以生成第二压力;材料烧结模块,材料烧结模块与升压模块相连,材料烧结模块用于根据第二压力对烧结材料进行烧结。根据本发明的烧结材料的烧结封装装置,仅需输入较小的压力便能有效地对烧结材料进行高压烧结,并且消耗的能源较少。 |
