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沉积箱圆弧轨道精准定位装箱装置

基本信息

申请号 CN201020196468.X 申请日 -
公开（公告）号 CN201681803U 公开（公告）日 2010-12-22
申请公布号 CN201681803U 申请公布日 2010-12-22
分类号 H01L21/68(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李健 申请（专利权）人 沈阳汉锋新能源技术有限公司
代理机构 沈阳圣群专利事务所 代理人 王宪忠
地址 110114 辽宁省沈阳市经济技术开发区沈西三东路4号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种定位装置，尤其涉及一种非晶硅沉积系统中的沉积箱圆弧轨道精准定位装箱装置。沉积箱圆弧轨道精准定位装箱装置，包括沉积箱，在沉积箱的底部设有圆弧单轨。本实用新型的优点效果：在玻璃装载箱进入沉积箱时，实现玻璃装载箱精准入箱，在沉积箱内部安装圆弧单轨，使玻璃装载箱在向沉积箱内部运行时能精确定位，将玻璃装载箱的V型轮推入卡到沉积箱的圆弧单轨上，使玻璃装载箱能够无障碍地沿着圆弧单轨进入沉积箱内部，接触到道床挡板停止运动，防止玻璃装载箱在进入时侧滑与沉积箱内壁发生碰撞而造成玻璃破碎。本实用新型结构简单，实用性强，必将有着广泛的市场前景。