RF电源波形显示匹配装置
基本信息
| 申请号 | CN201020131778.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201639574U | 公开（公告）日 | 2010-11-17 |
| 申请公布号 | CN201639574U | 申请公布日 | 2010-11-17 |
| 分类号 | H04B3/00(2006.01)I;G01R13/00(2006.01)I | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 李健 | 申请（专利权）人 | 沈阳汉锋新能源技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 110114 辽宁省沈阳市经济技术开发区沈西三东路4号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种波形显示匹配装置，尤其涉及一种RF电源波形显示匹配装置。RF电源波形显示匹配装置，包括示波器和匹配器，示波器与匹配器用信号线连接，信号线与传输电容并联。本实用新型的优点效果：可以随时监测到RF电源所发射到匹配器的高频信号是否稳定，以此做出对RF电源的控制器做出调整。本实用新型结构简单，实用性强，操作方便，在同轴电缆上并联传输电容，保证了示波器从匹配器得到的信号的稳定性，示波器可随时显示匹配器的波形信号。 |
