首页/ 沈阳汉锋新能源技术有限公司/ 专利详情

沉积箱真空度检测装置

基本信息

申请号 CN201020131780.0 申请日 -
公开（公告）号 CN201637537U 公开（公告）日 2010-11-17
申请公布号 CN201637537U 申请公布日 2010-11-17
分类号 G01L21/30(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 李健 申请（专利权）人 沈阳汉锋新能源技术有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 110114 辽宁省沈阳市经济技术开发区沈西三东路4号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种检测装置，尤其涉及一种太阳能电池生产过程中的沉积箱真空度检测装置。沉积箱真空度检测装置，由下述结构成：电磁阀，电磁阀与进气管连接，在进气管上通过管路与电阻规连接，电磁阀与电离规连接，电离规与电离规信号线连接，电阻规与电阻规信号线连接，电磁阀上设有电磁阀信号线。本实用新型的优点效果：将电阻规和电离规先后安装在一个管路上，测量范围可从100000帕至0.0001帕，并且中间安装有电磁阀，可以单独使用电阻规，也可以同时使用电阻规和电离规，本实用新型结构简单，增加了真空度的测量范围，测量精度高，实用性强。