一种可调式单晶炉中轴盖
基本信息
| 申请号 | CN202021354972.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213232568U | 公开（公告）日 | 2021-05-18 |
| 申请公布号 | CN213232568U | 申请公布日 | 2021-05-18 |
| 分类号 | C30B15/00 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李茂欣 | 申请（专利权）人 | 上海磐盟电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京化育知识产权代理有限公司 | 代理人 | 尹均利 |
| 地址 | 201617 上海市松江区长塔路399号2幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及单晶炉设备技术领域，具体为一种可调式单晶炉中轴盖，包括加热器、坩埚、端盖组件和石墨电极，所述端盖组件包括第一端盖，所述第一端盖的内部固定连接有隔热层，所述第一端盖的下表面通过沉头螺栓固定连接有第二端盖，所述第二端盖的下表面固定连接有橡胶垫，所述第一端盖的下表面中心处固定连接有连接轴，所述连接轴的外部固定连接有密封塞，所述连接轴的内部设置有螺纹孔，所述端盖组件的上方活动连接有坩埚，所述端盖组件的下方固定连接有中轴组件。本实用新型通过优化端盖组件，使其能够起到对底部管道的防护作用，通过上下端盖和密封塞实现对其的密封防护效果，从而减少清洗炉体时，导致的灰尘进入管道。 |
