一种单晶炉辅助磁场控制系统及方法
基本信息
| 申请号 | CN202110419979.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113122926A | 公开（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申请公布号 | CN113122926A | 申请公布日 | 2021-07-16 |
| 分类号 | C30B30/04（2006.01）I;C30B15/26（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 范桂林;李茂欣;沈伟华 | 申请（专利权）人 | 上海磐盟电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京维正专利代理有限公司 | 代理人 | 温开瑞 |
| 地址 | 201600上海市松江区长塔路399号2幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种单晶炉辅助磁场控制系统，属于单晶制造的领域，其包括炉筒，所述炉筒的两侧设有磁头，且两个磁头相对设置，所述磁头下方设有驱动机构，所述驱动机构包括用于驱动两个磁头相向运动的第一驱动组件，以及用于驱动磁头上下移动的第二驱动组件。本申请具有提高磁场的效果，从而提高所生产的单晶的品质的效果。 |
