一种多层复合陶瓷盘及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202010234112.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111620701A | 公开（公告）日 | 2020-09-04 |
| 申请公布号 | CN111620701A | 申请公布日 | 2020-09-04 |
| 分类号 | C04B35/622;C04B35/10;C04B41/88;H01L21/683;H01L21/67 | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 张巨先 | 申请（专利权）人 | 烟台睿瓷新材料技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京思海天达知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张立改 |
| 地址 | 101300 北京市顺义区北小营镇顺木路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种多层复合陶瓷盘及其制造方法，涉及半导体和材料科学领域。所述复合陶瓷盘包括至少一个基础三明治结构，包括：用陶瓷粉体制备一个片状陶瓷素坯；把陶瓷素坯在低于烧结温度的预烧结温度下，进行预烧结，得到具有一定强度的预烧结陶瓷件；在预烧结陶瓷件的上表面上形成一金属电极层；将预烧结陶瓷件放入模具中，且覆有金属电极层的上表面朝上；在预烧结陶瓷件上表面提供一陶瓷前体层；沿着预烧结陶瓷件轴向方向在烧结温度下加压烧结成一体，所述预烧结陶瓷件经加压烧结形成第二陶瓷层，所述陶瓷前体层经加压烧结形成第一陶瓷层，其中，所述金属电极层位于所述第一陶瓷层和第二陶瓷层之间并与第一陶瓷层和第二陶瓷层形成一基础三明治结构。 |
