一种同心圆结构的静电吸盘电极图形结构
基本信息
| 申请号 | CN202011087867.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112234015A | 公开（公告）日 | 2021-01-15 |
| 申请公布号 | CN112234015A | 申请公布日 | 2021-01-15 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张巨先 | 申请（专利权）人 | 烟台睿瓷新材料技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京思海天达知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京巨瓷科技有限公司 |
| 地址 | 265200 山东省烟台市经济技术开发区贵阳大街13号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种同心圆结构的静电吸盘电极图形结构，涉及半导体和材料科学领域。静电吸盘中的电极单元被分割成若干个小电极带弧后，小电极带弧通过连接点的设置，整个静电吸盘中的电极可以分成所需的任何极数。同心圆结构的静电吸盘电极图形结构，这种结构的静电吸盘电极，一方面将划分单元小型化，有利于降低残余热应力；另一方面，避免了在单元划分过程中孤立电极产生。是一种对称性好，结构均匀、简单的静电吸盘电极。 |
