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具有加热功能的静电吸盘及其制备方法

基本信息

申请号 CN202011087847.X 申请日 -
公开（公告）号 CN112259490A 公开（公告）日 2021-01-22
申请公布号 CN112259490A 申请公布日 2021-01-22
分类号 H01L21/683;H01L21/67;C04B35/10;C04B35/443;C04B35/46;C04B35/48;C04B35/565;C04B35/58;C04B35/581;C04B35/584;C04B35/622 分类 基本电气元件;
发明人 张巨先 申请（专利权）人 烟台睿瓷新材料技术有限公司
代理机构 北京思海天达知识产权代理有限公司 代理人 张立改
地址 101300 北京市顺义区北小营镇顺木路2号
法律状态 -

摘要

摘要 具有加热功能的静电吸盘及其制备方法，涉及半导体和材料科学领域。包括上陶瓷基底层，静电吸盘电极层，中间陶瓷层，加热电极层；和下陶瓷基底层。其中，静电吸盘电极层位于上陶瓷基底层和中间陶瓷层之间，加热电极层位于中间陶瓷层和下陶瓷基底层之间，上陶瓷基底层、中间陶瓷层和下陶瓷基底层经烧结成一体把静电吸盘电极层和加热电极层基本上整体封装起来，仅保留用以为静电吸盘电极层和加热电极层提供电连接的连接触点，其中所述具有加热功能的静电吸盘除静电吸盘电极层和加热电极层及其电连接结构之外为全陶瓷结构。