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一种等离子处理基板的台车输送装置

基本信息

申请号 CN202120641878.9 申请日 -
公开（公告）号 CN214933404U 公开（公告）日 2021-11-30
申请公布号 CN214933404U 申请公布日 2021-11-30
分类号 B65G35/00（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I 分类 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料;
发明人 张明德;汤家云;刘庆峰;陈培峰;罗梁 申请（专利权）人 扬州国兴技术有限公司
代理机构 江苏海联海律师事务所 代理人 倪章勇
地址 225000江苏省扬州市江都区大桥镇白沙中路1号科技大厦
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种等离子处理基板的台车输送装置，包括等离子处理腔体，等离子处理腔体的前方设置含有台车的台车输送区域，台车由车架和单槽台车组成，台车输送区域的上方设置有定位销抬升机构，单槽台车上方设有定位销，车架的上端面为转接板，转接板上设有滑轨，滑轨上方设置有过渡板，单槽台车底部沿相对过渡板向等离子处理腔体滑动，当装有基板的台车送至等离子真空处理腔体门口时，等离子处理腔体打开腔门，自动将台车上单槽台车内的基板送入等离子处理腔体加工处理，这种运送装置实现全程输送基板自动化，节省人工和提高效率，过渡板使得在基板推入等离子处理腔体时，避免因台车和等离子处理腔体之间的间隙导致基板掉落造成的损失。