一种多腔体等离子处理自动上下料系统
基本信息
| 申请号 | CN202110339762.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112960378A | 公开（公告）日 | 2021-06-15 |
| 申请公布号 | CN112960378A | 申请公布日 | 2021-06-15 |
| 分类号 | B65G47/74（2006.01）I;B65G47/90（2006.01）I | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 张明德;汤家云;刘庆峰 | 申请（专利权）人 | 扬州国兴技术有限公司 |
| 代理机构 | 江苏海联海律师事务所 | 代理人 | 王燕凤 |
| 地址 | 225000江苏省扬州市江都区大桥镇白沙中路1号科技大厦 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种多腔体等离子处理自动上下料系统，多个腔体通过传输机构固定连接在一起，自动化机械手臂连续不间断的为单槽夹具上下板区的台车上板，上了板的台车通过水平传送装置输送至送料区，最后由机械手将装满等离子处理基板的台车推入真空腔体进行加工处理；加工处理完成后，台车又拉出至送料区的上层输送腔体，再通过水平传送装置和升降装置切换未加工的台车至送料区的上层输送腔体，这样的自动化流水工作，有效的降低了人工成本，提高了工作效率。 |
