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一种等离子处理单槽台车的导向定位机构

基本信息

申请号 CN202120642381.9 申请日 -
公开（公告）号 CN214933406U 公开（公告）日 2021-11-30
申请公布号 CN214933406U 申请公布日 2021-11-30
分类号 B65G35/00（2006.01）I;B65G47/22（2006.01）I 分类 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料;
发明人 张明德;汤家云;刘庆峰;陈培峰;罗梁 申请（专利权）人 扬州国兴技术有限公司
代理机构 江苏海联海律师事务所 代理人 王燕凤
地址 225000江苏省扬州市江都区大桥镇白沙中路1号科技大厦
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种等离子处理单槽台车的导向定位机构，在转接板的底部两侧设有导轮，对应车架的两侧设有滚珠滑轨，使导轮沿滚珠滑轨方向滑动得第一伸缩气缸；转接板的两侧设有定位销孔，对应车架的两侧设有横移定位销，横移定位销的另一端均设有推动横移定位销卡入定位销孔的第二伸缩气缸，横移定位销卡入定位销孔后限制单槽台车沿滚珠滑轨方向滑动。通过改善台车的内部结构，为等离子处理系统上下基板实现自动化提供支持，该导向定位机构能够进一步提升台车自动化输送基板的稳定性和准确性，解决现有的等离子处理系统在基板输送自动化程度低的问题，提高了等离子处理系统的整体效率，降低基板在输送过程中导致的人为操作损坏问题。