一种由莪术醇合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法
基本信息
| 申请号 | CN202011541788.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113045537A | 公开（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申请公布号 | CN113045537A | 申请公布日 | 2021-06-29 |
| 分类号 | C07D333/46（2006.01）I;C07D493/08（2006.01）I;G03F7/004（2006.01）I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 郭颖;毕景峰;李嫚嫚;王尹卓;潘惠英 | 申请（专利权）人 | 上海博栋化学科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201614上海市松江区九亭镇中心路1158号9幢403室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种由莪术醇合成的磺酸锍盐类光产酸剂，涉及光产酸剂领域，该光产酸剂的结构式为：R1选自和R2选自氟代烷基或者氟代环烷基，且R2结构中的部分亚甲基可以被酯基、醚、羰基或者碳酸酯基取代。该光产酸剂能够降低光产酸剂的扩散，有利于改善边缘粗糙度，减小线宽粗糙度，提高分辨率；亲水亲油平衡，既具有一定的粘附性，又可以在溶剂中均匀溶解，有利于成像；在193nm波长的光源下吸收低，更加透明，有利于光刻胶在193nm波长光源下的曝光，并且具有优良的耐刻蚀性能；合成方法简单。 |
