由戊醛糖合成的光刻胶树脂单体及其合成方法
基本信息
| 申请号 | CN201911385240.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111116605A | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN111116605A | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | C07D493/14;C07D493/20;C08F22/20;G03F7/004 | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 喻珍林;潘惠英;蒋小惠;毕景峰;贺宝元 | 申请（专利权）人 | 上海博栋化学科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201614 上海市松江区九亭镇中心路1158号9幢403室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种由戊醛糖合成的光刻胶树脂单体及其合成方法，属于化学合成及光刻材料领域。该光刻胶树脂单体的结构通式为：式中，R1为氢或者甲基；R2为烷基或者环烷基；M为二价的连接基团。该光刻胶树脂单体的合成方法为：将含羟基的醛或酮与丙烯酸类化合物进行反应，得到中间体；将所述中间体与戊醛糖在酸催化下进行反应，得到所述光刻胶树脂单体。本发明提供的光刻胶树脂单体具有增加抗蚀性、改善树脂与晶圆的粘附性、增加树脂在碱性显影液中的溶解度、有利于改善边缘粗糙度以及提高分辨率的特点。 |
