一种用于曲面反光镜镀膜的行星旋转机构
基本信息
| 申请号 | CN201020577248.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201826009U | 公开（公告）日 | 2011-05-11 |
| 申请公布号 | CN201826009U | 申请公布日 | 2011-05-11 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 鲁振杰;李野;阴哓俊;王诩;王银河;姚春龙 | 申请（专利权）人 | 沈阳汇博光学技术有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 | 代理人 | 沈阳仪表科学研究院;沈阳汇博光学技术有限公司 |
| 地址 | 110043 辽宁省沈阳市大东区北海街242号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属真空镀膜设备领域，尤其涉及一种用于曲面反光镜镀膜的行星旋转机构，它包括调速电机(1)、主转动轴(2)、与主转动轴(2)固定相接的工作转盘(3)、真空室(4)、行星夹具盘(5)、滑道(6)及连接件(7)；所述滑道(6)横向固定配于真空室(4)内；所述调速电机(1)的输出轴接主转动轴(2)；所述连接件(7)的一端与行星夹具盘(5)轴接；连接件(7)的另一端与工作转盘(3)固定相接；所述行星夹具盘(5)可沿滑道(6)滚动。本实用新型结构简单，不需要任何齿轮传动，不要求精密配合，镀制的膜层均匀性好。 |
