高熵合金旋转靶材及其冷喷涂的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202111433186.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114086142A | 公开（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申请公布号 | CN114086142A | 申请公布日 | 2022-02-25 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I;C23C24/04（2006.01）I;B22F9/04（2006.01）I;B22F1/142（2022.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 徐从康;贺涛;马赛;陈箫箫 | 申请（专利权）人 | 亚芯半导体材料（江苏）有限公司 |
| 代理机构 | 常州市权航专利代理有限公司 | 代理人 | 赵慧 |
| 地址 | 213000江苏省常州市天宁区青洋北路143号创业服务中心内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及高熵合金靶材制备技术，尤其是一种高熵合金旋转靶材及其冷喷涂的制备方法。其中所述采用冷喷涂制备高熵合金旋转靶材的方法，包括以下步骤：步骤1，对金属粉末进行球磨预合金化，得到预合金化粉末；步骤2，对所述预合金化粉末在真空下进行退火后，研磨、过筛，制得预处理粉末；步骤3，对基材进行预处理，得到预处理基材；步骤4，将所述预处理粉末冷喷涂到所述预处理基材的表面。本发明的是冷喷涂工艺，制备的靶材纯度高、含氧量低。冷喷涂时，颗粒的速度大，固态颗粒高速到达基体表面产生塑性变形，后续颗粒又不断冲击前期颗粒使得靶材不断致密化，故靶材的密度高。 |
