一种光学元件表面缺陷检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202210278836.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114689596A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114689596A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | G01N21/88（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 裴宁;王大森;聂凤明;张旭;夏超翔;黄思玲;李晓静;郭海林;赵仕燕;范爱国;王雷;李维杰 | 申请（专利权）人 | 中国兵器科学研究院宁波分院 |
| 代理机构 | 宁波诚源专利事务所有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 315103浙江省宁波市高新区凌云路199号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种光学元件表面缺陷检测装置，包括有：激光光源模块，用于发出激光光束并入射到待检测光学元件的表面；成像模块，用于收集散射光以形成检测图像；其特征在于：还包括：隔振平台，所述激光光源模块和成像模块均放置于该隔振平台上，用于在激光光源模块和成像模块扫描运动时隔离外界引起的振动。本发明的优点在于：通过设置隔振平台隔离激光光源模块和成像模块扫描运动时外界引起的振动，从而能减小外界扰动对系统的检测灵敏度和重复性造成影响，进而提高缺陷检测的抗干扰能力。因此该缺陷检测装置的检测灵敏度高且检测准确率高。 |
