一种图像传感器芯片测试分选一体机

基本信息

申请号 CN202010811747.0 申请日 -
公开(公告)号 CN111933551B 公开(公告)日 2021-06-18
申请公布号 CN111933551B 申请公布日 2021-06-18
分类号 H01L21/67;H01L21/66;H01L27/146 分类 基本电气元件;
发明人 梁猛;赵凯;卢升;林海涛 申请(专利权)人 技感半导体设备(南通)有限公司
代理机构 上海远同律师事务所 代理人 张坚
地址 226000 江苏省南通市开发区苏通科技产业园江成路1088号江成研发园1号楼1529-145室(CSSD)
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种图像传感器芯片测试分选一体机,包括依次排列且均具有输送机构的待测流道、测试流道、良品流道、不良品流道,待测流道前端设有待测满料托盘载仓,后端设有空盘卸载仓;良品流道前端设有良品满料托盘卸载仓,后端设有空盘装载仓;测试流道的输送机构上设有具有加热功能的下测试座,测试流道后端设有相匹配的下压测试机构;不良品流道的输送机构上设有存放不良品的托盘;各流道上方还横跨有一横梁,横梁前后两侧分设有一能够沿横梁移动的芯片吸取机构。将芯片测试、加热及视觉检查等多功能集成于整个分选机中,仅需在原有动作逻辑中只增加了一步停顿与拍照检查,可有效避免因芯片的转移而造成的损伤或污染的风险。