一种具有调节功能的刮刀装置
基本信息
| 申请号 | CN202022279848.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213468475U | 公开（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申请公布号 | CN213468475U | 申请公布日 | 2021-06-18 |
| 分类号 | B05C11/04（2006.01）I | 分类 | 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕; |
| 发明人 | 赵凯;张欣;邵嘉裕;林海涛 | 申请（专利权）人 | 技感半导体设备（南通）有限公司 |
| 代理机构 | 上海远同律师事务所 | 代理人 | 张坚 |
| 地址 | 226000江苏省南通市开发区苏通科技产业园江成路1088号江成研发园1号楼1529-145室（CSSD） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种具有调节功能的刮刀装置，包括基板、固定于基板上的气缸，所述气缸的活塞杆向下穿过所述基板与位于所述基板下方的刮刀架相连，所述刮刀架上装有刮刀，其特征在于：所述气缸为双作用气缸，所述气缸在上的无杆腔与下压气路相连，所述气缸在下的有杆腔与上提气路相连。使用时，上提气路与下压气路同时往气缸的有杆腔与无杆腔内通气，通过调节有杆腔与无杆腔的气压差来控制活塞杆的动作。通过两股较大的气压压力作用，可以一定程度上减小气缸内部的阻力影响，使活塞杆的运行过程更为柔和，实现对下降速度与下压力的精准控制。 |
