点样头

基本信息

申请号 CN202120517302.1 申请日 -
公开(公告)号 CN215218862U 公开(公告)日 2021-12-17
申请公布号 CN215218862U 申请公布日 2021-12-17
分类号 G01N35/10(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 惠怡静;刘伟;刘雪峰;徐树杰;朱振宇;崔晨;童丽萍;王雷;任家宝;索娇;王超前;任重磊 申请(专利权)人 中汽数据有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 300300天津市东丽区先锋东路68号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及芯片点样设备领域,具体而言,涉及一种点样头。所述点样头包括点样头框架、至少两个点样针、至少两个卡箍、至少两个弹性元件和密封装置;至少两个所述点样针穿设于所述点样头框架;至少两个所述卡箍和至少两个所述弹性元件均设置于所述点样头框架内;所述卡箍与所述点样针固定连接;所述弹性元件套设于所述点样针外侧;所述密封装置可拆卸的设置于所述点样头框架下方。该点样头结构简单、可靠性高、使用寿命长,可保证每根点样针都与基材紧密接触,从而完全消除有机溶液“流挂”现象的不利影响,解决浓度不可控地变大、析出物堵塞点样针针孔的问题,提高芯片生产质量,降低生产成本。