用于真空设备破空管路的分流装置
基本信息
| 申请号 | CN201921059466.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210506502U | 公开（公告）日 | 2020-05-12 |
| 申请公布号 | CN210506502U | 申请公布日 | 2020-05-12 |
| 分类号 | C23C14/22;H01L31/18 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 梁伟;陈培专;李仁龙;魏昌华;高翔 | 申请（专利权）人 | 绵阳皓华光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京远大卓悦知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 绵阳金能移动能源有限公司 |
| 地址 | 621000 四川省绵阳市涪城区凤凰中路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于真空设备破空管路的分流装置，包括：用于向真空腔室内输入破空气体的破空管道；设置在破空管道上以切换其工作状态的破空阀；设置于真空腔室内以实现破空的多个分流管；其中，所述破空管道在与各分流管相配合的一端设置有用于分流的转接头。本实用新型还有一个目的是提供一种用于真空设备破空管路的分流装置，其能够在进入真空腔室的一端通过配置多个分流管，使得破空气体经过各分流管分流后再进入腔体，减少对产品的冲击，保证产品质量，且整体结构简单，便于实施。 |
