一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备
基本信息
| 申请号 | CN201921160422.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210560712U | 公开（公告）日 | 2020-05-19 |
| 申请公布号 | CN210560712U | 申请公布日 | 2020-05-19 |
| 分类号 | C23C14/35;C23C14/56;H01L21/67;H01L31/18;H01L21/677 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘行健;陈培专;李仁龙;魏昌华;高翔 | 申请（专利权）人 | 绵阳皓华光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 绵阳金能移动能源有限公司 |
| 地址 | 621000 四川省绵阳市涪城区凤凰中路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，包括：腔室，其顶端的内表面上固定焊接有一组平行的导轨；腔门，其与腔室可实现密闭相连，所述腔门外设置有凸起的容纳腔，所述凸起的容纳腔能够容纳腔室外部的导轨，所述腔门外的底端连接有支撑板；连接板，其一个面上设置有一组支撑杆，所述支撑杆上均设置有第一滚轮，所述第一滚轮与导轨相互卡合滚动连接；收卷辊和放卷辊，其对称且可转动连接在连接板和腔门上，所述连接板和腔门间可转动连接有镀膜辊，所述收卷辊、放卷辊和镀膜辊上连接有卷材。本实用新型的一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备具有操作简单，节省换靶时间，占用空间小的优点。 |
