一种用于真空镀膜机的真空室
基本信息
| 申请号 | CN201921210194.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210367888U | 公开（公告）日 | 2020-04-21 |
| 申请公布号 | CN210367888U | 申请公布日 | 2020-04-21 |
| 分类号 | C23C14/34;C23C14/56 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 胡向忠;陈培专;李仁龙;魏昌华;高翔 | 申请（专利权）人 | 绵阳皓华光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京远大卓悦知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 绵阳金能移动能源有限公司 |
| 地址 | 621000 四川省绵阳市涪城区凤凰中路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的真空室，包括：真空腔体；波浪形遮挡板，其可拆卸连接在真空腔体的内壁上；主传动辊，其设置在真空腔体的下部居中的位置；所述真空腔体的上部左右对称设置放卷辊和收卷辊；三个镀膜靶材，其等距离地放置在主传动辊的外圆周围，且位于主传动辊的下方；本实用新型将真空腔体内部的遮挡板设置为波浪形遮挡板，其有效增加了挡板的整体面积，让挡板能更好、更多的吸附靶材材料，减少保养次数，从而增加设备有效生产时间。 |
