一种平面靶材
基本信息
| 申请号 | CN201920408498.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209741263U | 公开（公告）日 | 2019-12-06 |
| 申请公布号 | CN209741263U | 申请公布日 | 2019-12-06 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01） | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 沈登涛; 张佳衲; 曾一鑫 | 申请（专利权）人 | 信元光电有限公司 |
| 代理机构 | 广州粤高专利商标代理有限公司 | 代理人 | 廖苑滨 |
| 地址 | 516600 广东省汕尾市城区信利工业城26栋4楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种平面靶材，包括背板和绑定于所述背板上的靶材组，所述背板设有位于中部的凸起部和两侧的平坦部，所述靶材组包括设于所述凸起部的第一子靶材和设于所述平坦部上的第二子靶材；所述第一子靶材和第二子靶材的上表面保持平齐。本实用新型提供的平面靶材通过设置具有凸起部和平坦部的背板，从而在使得第一子靶材和第二子靶材的上表面平齐的情况下，第一子靶材的厚度小于第二子靶材的厚度，由于位于两侧的第二子靶材的消耗快，中间的第一子靶材消耗慢，因此可有有效保证第一子靶材和第二子靶材消耗完毕的时间的匹配，具有较好的一致性，从而避免了靶材浪费，降低了生产成本。 |
