MEMS红外光源及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202111067218.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113791048A | 公开（公告）日 | 2021-12-14 |
| 申请公布号 | CN113791048A | 申请公布日 | 2021-12-14 |
| 分类号 | G01N21/3504;G01N21/01;B81B7/02;B81C1/00;B82Y15/00;B82Y40/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 甘凯仙;许晴;于海洋;张杰 | 申请（专利权）人 | 上海翼捷工业安全设备股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王洁 |
| 地址 | 201114 上海市闵行区陈行公路2388号17幢501室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种MEMS红外光源，所述的红外光源包括衬底和承载在衬底上的正面结构，所述的正面结构从下至上依次包括双层介质层、钨加热电阻层、黏附层、纳米非晶碳层、钝化层，钨加热电阻层包括盘丝状钨结构、沉积在钨结构中的氧化硅层、以及设置在钨结构上的金属电极。本发明还提供了相应的制备方法。本发明的新型红外光源器件具有辐射自增强效应，可以实现更高的辐射温度和更稳定的热响应，实现优异的中远红外辐射性能。MEMS红外光源集成于红外气体传感系统，是红外气体检测装置的核心部件，解决了传统传感器与气体直接接触导致中毒或灵敏度下降的问题，对于环境检测、工矿业生产安全方面具有巨大的应用价值。 |
