红外吸收复合膜结构及二氧化碳热释电红外探测器
基本信息
| 申请号 | CN202110472593.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113188669A | 公开（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申请公布号 | CN113188669A | 申请公布日 | 2021-07-30 |
| 分类号 | G01J5/08 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 甘凯仙;许晴;何虎;张杰;于海洋 | 申请（专利权）人 | 上海翼捷工业安全设备股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王洁 |
| 地址 | 201114 上海市闵行区陈行公路2388号17幢501室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于CO2热释电红外探测器的红外吸收复合膜结构，从上至下依次包括：第一二氧化硅层、氮化硅层、第二二氧化硅层，氮化硅层用于红外吸收。本发明还提供了相应的CO2热释电红外探测器。本发明的红外吸收复合膜结构，采用氧化硅‑氮化硅‑氧化硅多层介质膜作为红外吸收层，主要针对CO2气体的高效红外吸收进行设计，厚度控制在2um以内，可得到小于5％的反射率，且吸收率最高可达99.94％，吸收效率高、制作工艺简单、工艺兼容性好、附着力好，且制作成本低廉易于量产。 |
