一种多层背电极及其制备方法和一种太阳能电池
基本信息
| 申请号 | CN201811423088.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111223941A | 公开（公告）日 | 2020-06-02 |
| 申请公布号 | CN111223941A | 申请公布日 | 2020-06-02 |
| 分类号 | H01L31/0224(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 孙合成;卫成刚;左悦 | 申请（专利权）人 | 华夏易能（南京）新能源有限公司 |
| 代理机构 | 北京安信方达知识产权代理有限公司 | 代理人 | 华夏易能（南京）新能源有限公司 |
| 地址 | 210000江苏省南京市南京经济技术开发区疏港路1号龙潭物流基地A-29号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种多层背电极。所述多层背电极包括至少三层Mo膜层，所述至少三层Mo膜层包括：形成在衬底上的第一Mo膜层，所述第一Mo膜层具有张应力结构；位于所述多层背电极的表层的第二Mo膜层，所述第二Mo膜层具有张应力结构；以及形成在所述第一Mo膜层与所述第二Mo膜层之间的第三Mo膜层，所述第三Mo膜层具有压应力结构。本申请还公开了一种制备多层背电极的方法和一种太阳能电池。本申请的多层背电极能够控制CIGS系列的吸收层薄膜朝着(220)/(204)结晶取向进行生长，从而提高太阳能电池的光电转化效率。 |
