一种210大尺寸硅片的清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN202110480063.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113223934A | 公开（公告）日 | 2021-08-06 |
| 申请公布号 | CN113223934A | 申请公布日 | 2021-08-06 |
| 分类号 | H01L21/02;H01L21/66;H01L21/67;B08B3/04;B08B3/12 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 车晓东 | 申请（专利权）人 | 苏州协鑫光伏科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 柏尚春 |
| 地址 | 215253 江苏省苏州市苏州高新区五台山路169号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种210大尺寸硅片的清洗方法，包括以下步骤：步骤1：制定超声检测标准并标准化，并使用锡箔纸来检测验证超声是否合格；步骤2：按溢流漂洗‑药洗‑药洗‑漂洗‑药洗‑溢流漂洗的方式制定清洗工艺，确保电导率正常，提升清洗效果，减少脏污；步骤3：选择双组份清洗药剂处理大尺寸硅片，试验数据说明其一次污片率低于单组份清洗剂，在大尺寸硅片上选用双组份清洗剂，药剂添加量根据小尺寸清洗机槽体尺寸来测算具体添加量，药剂采用A+B的方式添加，补加量和药剂添加量根据槽体尺寸以及过程取样测试PH值和游离碱度来计算添加。 |
