一种带超声清洗槽的硅片切割装置

基本信息

申请号 CN202120967172.1 申请日 -
公开(公告)号 CN215282762U 公开(公告)日 2021-12-24
申请公布号 CN215282762U 申请公布日 2021-12-24
分类号 B28D5/04(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I 分类 加工水泥、黏土或石料;
发明人 张强;金善明;缪海波;陈益冬 申请(专利权)人 苏州协鑫光伏科技有限公司
代理机构 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 代理人 柏尚春
地址 215253江苏省苏州市苏州高新区五台山路169号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种带超声清洗槽的硅片切割装置,包括金刚线导轮、走线滑轮和金刚线,还包括超声清洗槽,超声清洗槽包括超声振板、换能器、进水口和水槽,超声振板位于水槽的底部,超声振板内均匀布置换能器,换能器通过线缆与超声主机连接,超声主机将产生超声的电信号传递至换能器,换能器将其转换为超声信号通过超声振子,经由超声振板输出为超声波,进水口位于水槽一端短侧边的弧形侧板上。本实用新型在切割的过程中及时对金刚线和导轮清洗去污,切割的效率有效提高,清洗的同时对设备进行水洗降温,延长了设备的使用寿命并提高了切割质量。