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一种适用于大尺寸硅片插片机的吸片翻转机构

基本信息

申请号 CN202022922962.6 申请日 -
公开（公告）号 CN213845233U 公开（公告）日 2021-07-30
申请公布号 CN213845233U 申请公布日 2021-07-30
分类号 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 张强 申请（专利权）人 苏州协鑫光伏科技有限公司
代理机构 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） 代理人 高艳敏
地址 215253江苏省苏州市苏州高新区五台山路169号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种适用于大尺寸硅片插片机的吸片翻转机构，包括固定轴、吸片滚筒、端盖、传动带轮，所述固定轴包括中间的安装部和两端的固定部，所述吸片套筒套装于固定轴的安装部上，所述吸片套筒两端分别设有端盖，所述端盖锁紧于吸片套筒端部，所述传动带轮设有用于避让所述固定轴固定部的中心孔，并锁紧于其中一个端盖的外端，所述吸片滚筒的两端为相互对称的正n边形，n≥4，所述正n边形的m个面上分别开设有吸附孔，所述m≤n，所述固定轴在与吸附孔相对应位置开设有吸附槽，所述吸附槽连接真空系统。本实用新型所涉及的吸片翻转机构更方便分离大硅片、薄硅片，降低硅片的崩边、碎片品质缺陷。