一种硅片检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202121150508.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215297174U | 公开（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申请公布号 | CN215297174U | 申请公布日 | 2021-12-24 |
| 分类号 | G01N21/95（2006.01）I;G01N21/94（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张强;缪海波 | 申请（专利权）人 | 苏州协鑫光伏科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 高艳敏 |
| 地址 | 215253江苏省苏州市苏州高新区五台山路169号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型所述的一种硅片检测装置，包括传送带、崩边光源、线扫相机、若干平面镜和脏污光源，所述硅片平铺于转动的传送带上，所述硅片包括两条垂直于传送带方向的垂直侧边和两条平行于传送带方向的平行侧边，所述崩边光源照射于硅片照射于一条垂直侧边，并将垂直侧边表面情况通过平面镜反馈于线扫相机，所述污光源照射于硅片的一条平行侧边和硅片一个表面，并将两个位置的表面状况通过平面镜反馈于所述线扫相机，上述系统共设置两个，用于测试硅片的四个侧边和上、下表面。本实用新型的一个系统中通过一个相机两次成像解决了侧边崩边与表面脏污的检测，在设备硬件装置节省了费用，通过结构优化更好的检测硅片的侧边崩边。 |
