一种用于硅片清洗系统的纯水加热、补给系统
基本信息
| 申请号 | CN202120967298.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215278867U | 公开（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申请公布号 | CN215278867U | 申请公布日 | 2021-12-24 |
| 分类号 | B08B3/10（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 王福寿;吴旸 | 申请（专利权）人 | 苏州协鑫光伏科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 高艳敏 |
| 地址 | 215253江苏省苏州市苏州高新区五台山路169号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于硅片清洗系统的纯水加热、补给系统，自前端向后端依次包括中水换热部分、空压机换热部分和自动加热补给部分，所述中水换热部分用于完成自纯水站输出的纯水和中水之间的换热；所述空压机换热部分用于中水换热部分输出的纯水与空压机之间的换热；所述自动加热补给部分用于将空压机换热部分输出的纯水加热至目标温度，最后将目标温度纯水输出到硅片清洗系统中。本实用新型的纯水加热、补给系统是相对于硅片清洗系统独立设置的集中加热系统，具备独立的集中供水泵浦及管路系统。与原有纯水管路系统分开，加热效率显著提升，减少补水时对正常工作机台的影响，同时缩短补水时间，能够显著提升产能。 |
