一种硅片清洗烘干用的花篮装置

基本信息

申请号 CN202120927095.7 申请日 -
公开(公告)号 CN214898354U 公开(公告)日 2021-11-26
申请公布号 CN214898354U 申请公布日 2021-11-26
分类号 H01L21/673(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 邵剑雄 申请(专利权)人 苏州协鑫光伏科技有限公司
代理机构 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 代理人 曹坤
地址 215253江苏省苏州市苏州高新区五台山路169号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种硅片清洗烘干用的花篮装置。属于太阳能硅片清洗设备领域,包括左U型底板、右U型底板、支撑杆、齿杆、缓冲杆;在所述左U型底板和右U型底板上设有提拉孔;所述多根支撑杆为实心柱状,成组对称的固定于左、右U型底板的四角,起到固定支撑左右U型底板,形成可放置硅片的空间;本实用新型取消提拉杆结构,在底板上设计提拉孔,设备机械手直接勾住底板,可大幅降低花篮的损坏率;另外,本实用新型将花篮齿设计为菱形窄齿,通过合理的齿长确保对硅片的支撑,又减小了接触面积,可降低硅片脏污异常。