一种硅片清洗烘干用的花篮装置
基本信息
申请号 | CN202120927095.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214898354U | 公开(公告)日 | 2021-11-26 |
申请公布号 | CN214898354U | 申请公布日 | 2021-11-26 |
分类号 | H01L21/673(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 邵剑雄 | 申请(专利权)人 | 苏州协鑫光伏科技有限公司 |
代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | 曹坤 |
地址 | 215253江苏省苏州市苏州高新区五台山路169号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种硅片清洗烘干用的花篮装置。属于太阳能硅片清洗设备领域,包括左U型底板、右U型底板、支撑杆、齿杆、缓冲杆;在所述左U型底板和右U型底板上设有提拉孔;所述多根支撑杆为实心柱状,成组对称的固定于左、右U型底板的四角,起到固定支撑左右U型底板,形成可放置硅片的空间;本实用新型取消提拉杆结构,在底板上设计提拉孔,设备机械手直接勾住底板,可大幅降低花篮的损坏率;另外,本实用新型将花篮齿设计为菱形窄齿,通过合理的齿长确保对硅片的支撑,又减小了接触面积,可降低硅片脏污异常。 |
