一种多扩展MOCVD人机界面的监控设备
基本信息
申请号 | CN201020546856.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN201993621U | 公开(公告)日 | 2011-09-28 |
申请公布号 | CN201993621U | 申请公布日 | 2011-09-28 |
分类号 | G05B19/418(2006.01)I | 分类 | 控制;调节; |
发明人 | 刘景刚 | 申请(专利权)人 | 上海永胜半导体设备有限公司 |
代理机构 | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人 | 上海蓝宝光电材料有限公司 |
地址 | 201616 上海市松江区文俊路2号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种多扩展MOCVD人机界面的监控设备,包括两个或多个PC站、一个触摸屏操作站、以及三个PLC站,还包括两个具备环网功能并组成对称环网监控的第一交换机和第二交换机;第一交换机与三个PLC站相连,第二交换机与触摸屏操作站和两个或多个PC站相连,上述所提到的触摸屏操作站、PC站及PLC站都是可以进行扩展的。该控制形式采用电信环网中的高速冗余,可以扩展多个触摸屏操作站、PC站及PLC站。触摸屏及PC站与PLC站分别连接于两个交换机上,组成对称的环网监控形式。 |
