一种金属有机物化学气相沉积设备的热吹扫结构
基本信息
| 申请号 | CN201110166314.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102839358A | 公开（公告）日 | 2012-12-26 |
| 申请公布号 | CN102839358A | 申请公布日 | 2012-12-26 |
| 分类号 | C23C16/18(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李刚;孙仁君 | 申请（专利权）人 | 上海永胜半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人 | 上海永胜半导体设备有限公司 |
| 地址 | 201616 上海市松江区文俊路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种金属有机物化学气相沉积设备的热吹扫结构，包括反应腔、设置在反应腔内的载盘、支撑载盘的载盘支撑、设置在载盘下侧的加热体、在加热体下侧设置的热屏蔽层、接入吹扫气体的进气通路、以及排出吹扫气体的出气通路。加热体设置在热屏蔽层与载盘底部之间的加热空间内；进气通路接入吹扫气体送至加热空间后，并沿水平方向扩散后经出气通路排出。吹扫气体从进气通路直接进入加热空间，并沿水平方向扩散后，经出气通路排出，吹扫气体较易覆盖整个加热体，从而达到对加热体的有效保护，并且吹扫气体在加热体上的流动有利于载盘的温度均匀性的提高，而且对于整个工艺制成结束后，有效地缩短了降温时间，提高了效率，降低了成本。 |
