一种金属有机物化学气相沉积设备的气体控制装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种金属有机物化学气相沉积设备的气体控制装置

基本信息

申请号	CN201020284734.4	申请日	-
公开（公告）号	CN202099382U	公开（公告）日	2012-01-04
申请公布号	CN202099382U	申请公布日	2012-01-04
分类号	C23C16/455(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	李刚;常依斌	申请（专利权）人	上海永胜半导体设备有限公司
代理机构	深圳市顺天达专利商标代理有限公司	代理人	上海蓝宝光电材料有限公司
地址	201616 上海市松江区文俊路2号
法律状态	-

摘要

本实用新型公开一种金属有机物化学气相沉积设备的气体控制装置，该装置主要包括质量流量控制器MFC-1、MFC2，压力控制器PC-1，隔膜阀CA-1、CA-2、CA-3、CA-4、CA-5，单向阀CV-1、CV-2，质量流量计MFM-1，H2供气管路(1)，N2供气管路(2)，NH3供气管路(3)，H2被控管路(4)，N2被控管路(5)，NH3被控管路(6)，M供气管路(7)。常规方法，金属有机物化学气相沉积设备在N2的入口处采用带质量流量计的压力控制器，但受零部件技术所限无法满足大流量的需求，这里采用压力控制器和质量流量计串联的方式，不仅解决了大流量的问题，还实现了供气管路(7)的压力和质量流量控制的灵活切换。为了保证H2管路和NH3管路不造成安全隐患，通过CV-1和CA-4的控制可以方便实现H2管路的N2吹扫；通过CV-2和CA-5的控制可以方便实现NH3管路的N2吹扫。