一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷顶盖
基本信息
| 申请号 | CN201020268455.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202116642U | 公开（公告）日 | 2012-01-18 |
| 申请公布号 | CN202116642U | 申请公布日 | 2012-01-18 |
| 分类号 | C23C16/18(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李可;李刚 | 申请（专利权）人 | 上海永胜半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人 | 上海蓝宝光电材料有限公司 |
| 地址 | 201616 上海市松江区文俊路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及金属有机物化学气相沉积(MOCVD)设备中一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷顶盖。其结构特点是，水冷顶盖由顶盖体上板(1)、顶盖体下板(2)、进水接头(3)、出水接头(4)、连接块(5)、密封沟槽(6)、锁紧沟槽(7)和S形水冷沟槽(8)组成。顶盖体上板开有进出水孔，顶盖体下板开有水槽，焊为一体形成密封水路。进出水管与冷却水系统连接，由冷却水系统提供循环的恒温冷水对顶盖进行冷却。本实用新型为多路水冷槽径向或圆周向分布，配合流量计、温控器的情况下可实现顶盖温度的分区控制。单条水路可实现径向方向上温度的控制，不同水路之间可实现不同区域的温度控制。 |
