一种金属有机物化学气相沉积设备的加热器
基本信息
| 申请号 | CN201020284730.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202116644U | 公开（公告）日 | 2012-01-18 |
| 申请公布号 | CN202116644U | 申请公布日 | 2012-01-18 |
| 分类号 | C23C16/448(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 常依斌;王小举;李刚 | 申请（专利权）人 | 上海永胜半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人 | 上海蓝宝光电材料有限公司 |
| 地址 | 201616 上海市松江区文俊路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种金属有机物化学气相沉积设备的加热器，主要包括：由内至外依次设置的内圈加热片(7)、第一中圈加热片(8)、第二中圈加热片(9)、以及外圈加热片(10)；所述内圈加热片(7)、外圈加热片(10)、第一中圈加热片(8)和第二中圈加热片(9)采用两种或以上不同材质的加热片组成。加热器周边采用隔热屏(5)，这样减少加热器周边方向的热量损失，提高加热能效利用，也可以减少了周边零件因为受加热器辐射热量而对冷却的需求。采用转接块(3)实现了加热器安装电极和钼电极的电气连接连接，可以根据加热器下方的空间要求，改变转接块的形状和尺寸，解决空间狭小的问题。 |
