原子力显微镜的Z扫描器和探针装置及探针装置安装器专利查询专利号|摘要-满商公司网

原子力显微镜的Z扫描器和探针装置及探针装置安装器

基本信息

申请号	CN201710255058.4	申请日	-
公开（公告）号	CN107192854B	公开（公告）日	2020-12-04
申请公布号	CN107192854B	申请公布日	2020-12-04
分类号	G01Q10/00;G01Q60/24;G01Q60/38	分类	测量；测试;
发明人	刘璐;吴森;胡晓东;徐临燕;胡小唐	申请（专利权）人	苏州知锐技术有限公司
代理机构	天津市北洋有限责任专利代理事务所	代理人	天津大学
地址	300192 天津市南开区卫津路92号
法律状态	-

摘要

原子力显微镜的Z扫描器和探针装置及探针装置安装器，装置有Z扫描器和连接在Z扫描器下面的探针装置，Z扫描器有由下至上依次设置的环形铁片、环形压电陶瓷片和环形磁铁，环形铁片、环形压电陶瓷片和环形磁铁同轴设置，内周共同构成通光孔；探针装置有用于与环形铁片通过磁力相连的探针夹持结构，嵌入在探针夹持结构上的悬臂梁探针和通过螺丝将悬臂梁探针固定在探针夹持结构上的弹簧压片。探针装置的探针装置安装器有安装器主体的一端形成有矩形开口，矩形开口的两侧和底部分布的形成有用于通过沉头螺钉连接探针装置的沉头螺纹孔，安装器主体远离矩形开口部分，形成有用于连接外部装置的沉头通孔。本发明能够适用于各种功效和多种扫描方式的原子力显微镜。