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施力结构以及基于其测量原子力显微镜探针的法向弹性常数的方法和应用

基本信息

申请号 CN201910744604.X 申请日 -
公开（公告）号 CN110470441B 公开（公告）日 2020-05-12
申请公布号 CN110470441B 申请公布日 2020-05-12
分类号 G01M5/00;G01N3/20;G01Q60/38 分类 测量；测试;
发明人 镐东越;吴森 申请（专利权）人 苏州知锐技术有限公司
代理机构 天津创智天诚知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 李蕊
地址 215127 江苏省苏州市吴中区甪直镇凌港路9号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种施力结构以及基于其测量原子力显微镜探针的法向弹性常数的方法和应用，施力结构包括：承载件和施力件，所述施力件的一端与所述承载件固装，在所述施力件的底端形成有一棱。相对于以往的采用弯曲法对原子力显微镜探针法向弹性常数进行标定的系统，本发明的施力结构以及基于该施力结构的测量法向弹性常数的方法不会对微悬臂梁探针的针尖产生任何的损伤以及污染。从普通探针到特殊悬臂梁探针或者具有特殊针尖的微悬臂梁探针都可进行准确无损标定，保证了探针针尖的完好性。