一种适用于高速扫描的原子力显微镜系统
基本信息
| 申请号 | CN201510089015.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104634997B | 公开（公告）日 | 2017-09-19 |
| 申请公布号 | CN104634997B | 申请公布日 | 2017-09-19 |
| 分类号 | G01Q60/24 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 吴森;胡晓东;徐临燕;胡小唐;刘璐 | 申请（专利权）人 | 苏州知锐技术有限公司 |
| 代理机构 | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人 | 杜文茹 |
| 地址 | 215127 江苏省苏州市吴中区甪直镇凌港路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种适用于高速扫描的原子力显微镜系统，包括有搭载在垂直升降电机上的用于对样品进行水平方向一维扫描的X向扫描器，还设置有对应于样品用于对样品进行Y、Z向扫描的二维扫描模块，以及与所述的二维扫描模块光路连接用于对样品进行光学检测的光杠杆检测模块和光学显微镜模块。所述的样品固定在所述的X向扫描器上。本发明的一种适用于高速扫描的原子力显微镜系统，能够在保证较小的激光光斑尺寸与较大范围的光束跟踪能力的同时，获得更高的扫描器带宽和更好的光学观察效果。 |
