一种增强金属基挡板吸附薄膜态物质的工艺
基本信息
| 申请号 | CN201410096131.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103882367B | 公开（公告）日 | 2016-06-08 |
| 申请公布号 | CN103882367B | 申请公布日 | 2016-06-08 |
| 分类号 | C23C4/131(2016.01)I;C23C4/08(2016.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 曲文超;郭丽娟;孙廷芳;徐晓东;西澤裕;宇佐美守 | 申请（专利权）人 | TDK大连电子有限公司 |
| 代理机构 | 大连星海专利事务所 | 代理人 | TDK大连电子有限公司 |
| 地址 | 116600 辽宁省大连市经济技术开发区淮河西路68号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种吸附薄膜态物质的工艺，一种增强金属基挡板吸附薄膜态物质的工艺，首先是采用石英砂对金属基挡板进行喷砂清洗、用于增加金属基挡板表面粗糙度，然后将呈熔化或半熔化状态的高纯度的金属铝采用电弧喷涂制备到金属基挡板表面，最后将制备有铝涂层的金属基挡板进行温水浴超声清洗，清洗后使用高压氮气吹干，用于提高铝涂层的表面活性。本发明制备有铝涂层的金属基挡板在真空环境下对薄膜态物质具有较强的吸附能力，一方面大大地减小了薄膜态物质对真空室内壁的污染、保证了产品质量，另一方面也延长了金属基挡板的使用寿命、提高了生产效率。 |
